無塵車間是屬于人造環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路技術(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵車間)潔靜度的需求,在工業(yè)上即使粒子的尺寸小于1微米,也可能阻礙產(chǎn)品的生產(chǎn)運(yùn)作或降低其壽命。由于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。
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無塵車間等級劃分:依據(jù)美國政府頒布的標(biāo)準(zhǔn),可將無塵車間分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級
無塵車間等級劃分:依據(jù)美國政府頒布的標(biāo)準(zhǔn),可將無塵車間分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級
1級:這個(gè)級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精準(zhǔn)要求為亞微米。
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10級:該級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
100級:很多人認(rèn)為,這一級無塵車間是常用,因而是重要的無塵車間,100級無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植入體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對菌體感染特別敏感的病人的隔離調(diào)理,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離調(diào)理。
1000級:這個(gè)級別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
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10000級:萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
100000級:十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級別的無塵車間。
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