潔凈無(wú)塵室工程里經(jīng)常存在大量可以優(yōu)化節(jié)約能源的地方,比如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)、工藝制冷、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施,其中關(guān)于空氣調(diào)節(jié)是其中重中之重??諝庹{(diào)節(jié)系統(tǒng),是包含溫度、濕度、空氣清凈度以及空氣循環(huán)的控制系統(tǒng),被稱為HVAC(英語(yǔ):Heating,Ventilation,Air-conditioning and Cooling)。HVAC系統(tǒng)消耗的電力經(jīng)常超過(guò)了整座集成電子制造廠用電量的一半,之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩,很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。
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無(wú)塵室工程要求維持一定的空氣流量來(lái)保持清潔度和顆粒數(shù)。其流量根據(jù)每小時(shí)的換氣次數(shù)來(lái)確定,同時(shí)這也決定了風(fēng)機(jī)尺寸、建筑構(gòu)型和能源消耗。在保持潔凈度的前提條件下,空氣流速的降低可以降低建造及能耗成本。換氣次數(shù)降低百分之20就可以使風(fēng)機(jī)的尺寸降低百分之50。空氣潔凈度比節(jié)約能耗更重要,但是新近的研究成果表明降低潔凈成本與節(jié)約能耗并不矛盾。許多原則都已過(guò)時(shí),是建立在老觀念上,采用低效的空氣過(guò)濾器。關(guān)于推薦的換氣次數(shù)變化范圍是90到250,比操作規(guī)程標(biāo)準(zhǔn)低很多,而且不會(huì)影響生產(chǎn)和潔凈度。因此建議ISO第5級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)大約是200,保守的上限是300。
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馬達(dá)效率:馬達(dá)消耗了無(wú)塵室工程中的大部分電能。連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的馬達(dá)每月消耗大量的電力。適當(dāng)?shù)靥岣咝┬?、適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)尺寸,在設(shè)備翻新清潔后,經(jīng)濟(jì)效果多半是不錯(cuò)的。效率增加幾個(gè)百分點(diǎn),利潤(rùn)就可增加幾十個(gè)百分點(diǎn)。使用優(yōu)異高能效的馬達(dá),不一定會(huì)花費(fèi)太多。高能效率意味著特別小,在改變馬達(dá)的尺寸之前先盡量減小負(fù)荷。在輸出量變化時(shí),利用變速驅(qū)動(dòng)可以提高操作效率。
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