萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室靜電有什么危害-需要特別注意【東鑫凈化】

       靜電可能對(duì)人們的生活沒(méi)帶來(lái)多大的危害，但在工業(yè)中可不一樣。靜電問(wèn)題仍然影響著產(chǎn)品質(zhì)量，影響著制造成本和效益，影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。據(jù)國(guó)外工業(yè)專(zhuān)家估計(jì)，美國(guó)每年由于靜電造成產(chǎn)品的損失平均在8-33%，還有人估計(jì)美國(guó)每年靜電對(duì)電子工業(yè)毀損價(jià)值達(dá)100億美元；日本80年代曾對(duì)報(bào)廢的電子產(chǎn)品進(jìn)行分析，由ESD引起的損失占1/3。盡管做了很多工作，但我國(guó)半導(dǎo)體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚，但靜電危害也時(shí)有發(fā)生，成品率較低。因此，我們需要特別注意萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室靜電的危害，做好防護(hù)措施。

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      萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室靜電庫(kù)侖力在靜電庫(kù)侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線(xiàn)寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時(shí)，最易使產(chǎn)品報(bào)廢?，F(xiàn)在線(xiàn)徑更細(xì)，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會(huì)損害元器件，這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等工藝過(guò)程中。靜電放電萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖，信號(hào)強(qiáng)，相當(dāng)于電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MH2甚幾百M(fèi)H2的強(qiáng)大噪聲，可能引起元器件損壞，設(shè)備和傳感器不正常工作，甚至引起設(shè)備死機(jī)。引起的EMI還會(huì)引發(fā)錯(cuò)誤信號(hào)的輸入，或發(fā)生鎖存現(xiàn)象。如無(wú)塵室中將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車(chē)上，晶圓片的ESD會(huì)通過(guò)電感傳給手推車(chē)，車(chē)輪是絕緣的，則EMI的擴(kuò)散會(huì)引起晶圓片處理機(jī)死機(jī)。電擊人體萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線(xiàn)被燒斷或線(xiàn)間熔斷。若人體帶上10KV（100PF）的靜電荷，觸摸器件腳時(shí)發(fā)生ESD，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值20A（10~100s），不要說(shuō)高密度，細(xì)線(xiàn)徑，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都會(huì)遭受損壞。

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      一般說(shuō)器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場(chǎng)強(qiáng)是E=（5-10）×106V/cm，如果器件SiO2膜厚度取1000，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會(huì)被擊穿，而人體帶靜電超過(guò)50V、100V是極平常的。造成噪聲、發(fā)射電磁波干擾人體的ESD或?qū)θ梭w的ESD當(dāng)超過(guò)人體電擊極限電流5mA以上時(shí)，人都會(huì)有各種傷害感覺(jué)，造成工作人員的情緒不安，操作錯(cuò)誤。所以對(duì)于以上幾點(diǎn)措施，我們需要特別注意東鑫凈化是一家16年無(wú)塵凈化車(chē)間設(shè)計(jì)工程安裝，百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)凈化工程裝修,專(zhuān)業(yè)資質(zhì)證書(shū)的凈化公司。