近十多年來, 隨著科學技術日新月異的改變,對產(chǎn)品的高密度化、細小型化需求更為迫切,同時也對無塵車間凈化技術的設計和發(fā)展提出了高質(zhì)量的要求。萬級無塵車間在半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、等行業(yè)非常多見。小編就給大家來說說萬級無塵車間有什么不同呢?
萬級無塵車間的潔凈度等級:要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。
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萬級無塵車間參數(shù)要求換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次;100≥500次.壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa 平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
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萬級無塵車間的凈化要求:主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,拌有回流或渦流,不同等級的凈化車間,主要是依靠單位時間內(nèi)所送風量的不同來實現(xiàn)。
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