潔凈室增壓產(chǎn)生空氣壓差是無塵室建設裝修工程必霜要做到的項目,它的作用是保證潔凈室遠離其接近區(qū)域的污染,操控有害污染物的流向,防止不一樣區(qū)域間的穿插污染,并協(xié)助堅持所請求的溫度和濕度水平。
潔凈室與無塵室建設裝修工程中,有關走廊、別的區(qū)域的壓差,應堅持在0.06kPa--1.25×10-3kPa之間。一般制藥公司所請求的壓差值比這更高,在不一樣區(qū)域之間選用層疊壓差來防止穿插污染。在不一樣的區(qū)域間設備一系列的層疊式氣閘和空氣快速分散的正壓門,然后發(fā)生壓差。
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微電子潔凈室規(guī)劃中,一般在無塵室建設裝修工程潔凈室的進口,有一個半密封的氣閘來使壓差堅持在1.25kPa--4.98×10-3kPa之間。更換衣服間和穿衣間用氣閘分離,進口的機械風淋相關于它的必要性而言,更是設備文明和潔凈室的原則問題。
很多微電子和光刻潔凈室成功地選用氣壓操控,只要在大門悉數(shù)翻開的狀況下,進口處的風量堅持在每分鐘50到100英尺。一些生物制藥公司請求主動壓差操控,選用彌補新風的方法,主動補足經(jīng)過門走漏的空氣。
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溫度和濕度的改變能夠引起生產(chǎn)制造設備的差錯,然后影響工藝生產(chǎn)過程的可重復性,終究致使產(chǎn)品合格率下降。因而,無塵室建設裝修工程潔凈室對溫度嚴格操控請求是顯而易見的。
一般狀況下,無塵室建設裝修工程設計師在規(guī)劃時,需要對區(qū)域內對溫度進行準確的操控,溫度改變控制。一般認為潔凈室外的潔凈度、溫度、濕度和氣壓等項目的層疊性是非常容易到達的,而且很容易堅持。
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假如對潔凈室內的暖通、動力專門設備和操控體系有嚴格要求,在每個潔凈室區(qū)域內,有部分主動調溫器來操控規(guī)劃溫度。它能驅動設備在風管上的部分再熱或再冷盤管作業(yè),來滿意房間內的濕熱的請求。假如運用風機盤管設備,部分主動調溫器操控本區(qū)域內盤管出口空氣的溫度。
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